Standard Guide for Depth Profiling in Auger Electron Spectroscopy
NORM herausgegeben am 1.10.2008
Bezeichnung normen: ASTM E1127-08
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.10.2008
Zahl der Seiten: 5
Gewicht ca.: 15 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
angle lapping, angle-resolved AES, Auger electron spectroscopy, ball cratering, compositional depth profiling, cross sectioning, depth profiling, depth resolution, sputter depth profiling, sputtering, thin films, Surface analysis--spectrochemical analysis, Angle lapping and staining technique, Argon atmospheres, Auger electron spectroscopy (AES), Ball cratering, Crater edge profiling, Depth profiling, Gases, Ion sputtering, Noble gas ions, Nondestructive evaluation (NDE), Polishing properties