ASTM E1438-91(2001)

Standard Guide for Measuring Widths of Interfaces in Sputter Depth Profiling Using SIMS

NORM herausgegeben am 15.9.1991

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM E1438-91(2001)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 15.9.1991
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM E1438-91(2001) :

Keywords:
data analysis-spectrochemical, depth resolution, interface width, profile distortion, secondary ion mass spectrometry (SIMS), ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)