ASTM E2246-02

Standard Test Method for Strain Gradient Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer

NORM herausgegeben am 10.10.2002

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM E2246-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.10.2002
Zahl der Seiten: 14
Gewicht ca.: 42 g (0.09 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM E2246-02 :

Keywords:
cantilevers, combined standard uncertainty, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, stiction, strain gradient, test structure, ICS Number Code 37.040.20 (Photographic paper, film and plates. Cartridges)