Standard Test Method for Strain Gradient Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM E2246-11
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.11.2011
Zahl der Seiten: 21
Gewicht ca.: 63 g (0.14 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM E2246-11 :

Keywords:
cantilevers, combined standard uncertainty, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, round robin, stiction, strain gradient, test structure, Alignment, Calibration--metals/alloys analysis instrumentation, Cantilever testing, Combined standard uncertainty, Fixed-fixed beams, Interferograms/Interferometry, Length, Microelectromechanical systems (MEMS), Noncontacting optical strain measurement systems