ASTM E2246-11(2018)

Standard Test Method for Strain Gradient Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer (Withdrawn 2023)

NORM herausgegeben am 1.5.2018

Englisch -
Elektronische PDF (102.20 EUR)

Englisch -

Gedruckt (102.20 EUR)

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM E2246-11(2018)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.5.2018
Zahl der Seiten: 21
Gewicht ca.: 63 g (0.14 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM E2246-11(2018) :

Keywords:
cantilevers, combined standard uncertainty, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, round robin, stiction, strain gradient, test structure,, ICS Number Code 37.040.20 (Photographic paper, film and plates. Cartridges)