Standard Test Method for Strain Gradient Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer (Includes all amendments And changes 5/28/2018).
NORM herausgegeben am 1.11.2011
Bezeichnung normen: ASTM E2246-11e1
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.11.2011
Zahl der Seiten: 21
Gewicht ca.: 63 g (0.14 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
cantilevers, combined standard uncertainty, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, round robin, stiction, strain gradient, test structure, ICS Number Code 37.040.20 (Photographic paper, film and plates. Cartridges)