Standard Terminology Relating to Measurements Taken on Thin, Reflecting Films
NORM herausgegeben am 1.5.2018
Bezeichnung normen: ASTM E2444-11(2018)
Ausgabedatum normen: 1.5.2018
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
cantilevers, definitions, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, stiction, strain gradient, terminology, test structure,, ICS Number Code 01.040.31 (Electronics (Vocabularies)), 31.240 (Mechanical structures for electronic equipment)