Standard Practice for Approximate Determination of Current Density of Large-Diameter Ion Beams for Sputter Depth Profiling of Solid Surfaces (Withdrawn 2012)
NORM herausgegeben am 1.12.2004
Bezeichnung normen: ASTM E684-04
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.12.2004
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
ion beam sputtering, ICS Number Code 17.220.20 (Measurement of electrical and magnetic quantities)