Standard Practice for Approximate Determination of Current Density of Large-Diameter Ion Beams for Sputter Depth Profiling of Solid Surfaces
NORM herausgegeben am 10.4.2000
Bezeichnung normen: ASTM E684-95(2000)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.4.2000
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
ion beam sputtering, ICS Number Code 17.220.20 (Measurement of electrical and magnetic quantities)