Standard Practice for Determining Vacuum Chamber Gaseous Environment Using a Cold Finger
NORM herausgegeben am 1.4.2021
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Bezeichnung normen: ASTM E834-21
Ausgabedatum normen: 1.4.2021
Zahl der Seiten: 5
Gewicht ca.: 15 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
cold finger, contamination monitoring, residual gas compositions, vacuum chamber,, ICS Number Code 23.160 (Vacuum technology)