Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization
NORM herausgegeben am 1.7.2004
Bezeichnung normen: ASTM E986-04
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.7.2004
Zahl der Seiten: 3
Gewicht ca.: 9 g (0.02 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
electron beam size, E 766, graphite fiber, magnification, NIST-SRM 2069B, resolution, SEM, SEM performance, spot size, waveform, ICS Number Code 31.120 (Electronic display devices), 37.020 (Optical equipment)