Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization
NORM herausgegeben am 1.4.2010
Bezeichnung normen: ASTM E986-04(2010)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.4.2010
Zahl der Seiten: 3
Gewicht ca.: 9 g (0.02 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
electron beam size, E766, graphite fiber, magnification, NIST-SRM 2069B, resolution, SEM, SEM performance, spot size, waveform, Electron microscopy, Scanning electron microscope (SEM), ICS Number Code 31.120 (Electronic display devices), 37.020 (Optical equipment)