ASTM F1049-00

Standard Practice for Shallow Etch Pit Detection on Silicon Wafers

NORM herausgegeben am 10.6.2000

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1049-00
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.6.2000
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1049-00 :

Keywords:
Defects-semiconductors, Etching, Haze, wafers (silicon)- shallow etch pit detection, test,, Microscopic examination-electronic materials, wafers (silicon)- shallowetch pit detection, test, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)