ASTM F1049-02

Standard Practice for Shallow Etch Pit Detection on Silicon Wafers (Withdrawn 2003

NORM herausgegeben am 10.12.2002

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1049-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.2002
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1049-02 :

Keywords:
epitaxial, oxidation, preferential etch, saucer pit, shallow etch pit, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)