ASTM F1152-02

Standard Test Method for Dimensions of Notches on Silicon Wafers (Withdrawn 2003)

NORM herausgegeben am 10.1.2002

Englisch -
Sicheres Online-PDF (66.80 EUR)

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1152-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.1.2002
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1152-02 :

Keywords:
notch, notch dimension, optical comparator, silicon, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)