ASTM F1152-93(2001)

Standard Test Method for Dimensions of Notches on Silicon Wafers

NORM herausgegeben am 10.1.2002

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1152-93(2001)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.1.2002
Zahl der Seiten: 3
Gewicht ca.: 9 g (0.02 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1152-93(2001) :

Keywords:
notch, notch dimension, optical comparator, silicon, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)