ASTM F1228-89(1994)E01

Test Method for Oxidizable (Organic) Carbon on Wafer Surfaces (By Persulfate) (Withdrawn 2001)

NORM herausgegeben am 1.1.1994

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1228-89(1994)E01
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.1.1994
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1228-89(1994)E01 :

Keywords:
Carbon content-semiconductors, Contamination-semiconductors, Electrical conductors-semiconductors, Microelectronics industry, Organic carbon (OC), Oxidizable carbon, Persulfate oxidation, Semiconductor device testing, Silicon semiconductors, Silicon semiconductors-slices/wafers, wafer surfaces-mass of deposited organic (oxidizable) carbon, contaminants, by persulfate oxidant solution, test