ASTM F1238-95(2003)

Standard Specification for Refractory Silicide Sputtering Targets for Microelectronic Applications

NORM herausgegeben am 10.12.1999

Englisch -
Sicheres Online-PDF (66.60 EUR)

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1238-95(2003)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.1999
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1238-95(2003) :

Keywords:
density, microelectronics, molybdenum, disilicide, refractory silicides, sputtering, sputtering targets, tantalum disilicide, titanium disilicide, tungsten disilicide, ICS Number Code 31.100 (Electronic tubes)