ASTM F1261M-96

Standard Test Method for Determining the Average Electrical Width of a Straight, Thin-Film Metal Line [Metric]

NORM herausgegeben am 1.1.1996

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1261M-96
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.1.1996
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1261M-96 :

Keywords:
aluminum, electrical interconnect, electrical linewidth, linewidth, metallization, semiconductor, test structure, thin film, ICS Number Code 31.080.01 (Semi-conductor devices in general)