
Standard Test Method for Determining the Average Electrical Width of a Straight, Thin-Film Metal Line [Metric] (Withdrawn 2009)
NORM herausgegeben am 10.6.1996
Bezeichnung normen: ASTM F1261M-96(2003)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.6.1996
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
aluminum, electrical interconnect, electrical linewidth, linewidth, metallization, semiconductor, test structure, thin film