ASTM F1366-92(1997)e1

Standard Test Method for Measuring Oxygen Concentration in Heavily Doped Silicon Substrates by Secondary Ion Mass Spectrometry (Includes all amendments And changes 3/2/2021).

NORM herausgegeben am 1.1.1992

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1366-92(1997)e1
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.1.1992
Zahl der Seiten: 5
Gewicht ca.: 15 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1366-92(1997)e1 :

Keywords:
FTIR, oxygen, secondary ion mass spectometry, silicon