ASTM F1367-98(2011)

Standard Specification for Chromium Sputtering Targets for Thin Film Applications (Withdrawn 2020)

NORM herausgegeben am 1.6.2011

Englisch -
PDF - sofortiges Download (64.10 EUR)

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1367-98(2011)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.6.2011
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1367-98(2011) :

Keywords:
chromium, sputtering, targets, Chromium electronic materials/applications, Chromium sputtering targets, Electronic materials/applications--specifications, Sputtering process/targets--specifications, Targets, ICS Number Code 25.220.40 (Metallic coatings)