Standard Test Method for Scanning Electron Microscope (SEM) Analysis of Metallic Surface Condition for Gas Distribution System Components
NORM herausgegeben am 1.7.2012
Bezeichnung normen: ASTM F1372-93(2012)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.7.2012
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
components, contamination, gas distribution, metallic surface condition, SEM analysis, semiconductor processing, surface condition, ICS Number Code 17.040.20 (Properties of surfaces)