Standard Test Method for Energy Dispersive X-Ray Spectrometer (EDX) Analysis of Metallic Surface Condition for Gas Distribution System Components
NORM herausgegeben am 1.7.2012
Bezeichnung normen: ASTM F1375-92(2012)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.7.2012
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
components, connectors, contamination, EDX, gas distribution components, SEM/EDX, semiconductor processing, surface condition, tubing, ICS Number Code 17.040.20 (Properties of surfaces)