ASTM F1390-02

Standard Test Method for Measuring Warp on Silicon Wafers by Automated Noncontact Scanning (Withdrawn 2003)

NORM herausgegeben am 10.12.2002

Englisch -
PDF - sofortiges Download (71.80 EUR)

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1390-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.2002
Zahl der Seiten: 9
Gewicht ca.: 27 g (0.06 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1390-02 :

Keywords:
noncontact measurement, semiconductor, shape, silicon, wafers, warp, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)