ASTM F1392-00

Standard Test Method for Determining Net Carrier Density Profiles in Silicon Wafers by Capacitance-Voltage Measurements With a Mercury Probe

NORM herausgegeben am 10.6.2000

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1392-00
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.6.2000
Zahl der Seiten: 14
Gewicht ca.: 42 g (0.09 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1392-00 :

Keywords:
capacitance-voltage method, carrier density, carrier density profile, depth profile, epitaxial wafers, mercury probe, net carrier density, polished wafers, profiles, resistivity, silicon, single crystal silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)