Standard Test Method for Determining Net Carrier Density Profiles in Silicon Wafers by Capacitance-Voltage Measurements With a Mercury Probe (Withdrawn 2003)
NORM herausgegeben am 10.12.2002
Bezeichnung normen: ASTM F1392-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.2002
Zahl der Seiten: 14
Gewicht ca.: 42 g (0.09 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
capacitance-voltage method, carrier density, carrier density profile, depth profile, epitaxial wafers, mercury probe, net carrier density, polished wafers, profiles, resistivity, silicon, single crystal silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)