Standard Test Method for Determining Net Carrier Density in Silicon Wafers by Miller Feedback Profiler Measurements With a Mercury Probe (Withdrawn 2003)
NORM herausgegeben am 10.12.2002
Bezeichnung normen: ASTM F1393-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.2002
Zahl der Seiten: 8
Gewicht ca.: 24 g (0.05 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
depth profile, epitaxial wafers, mercury probe, miller feedback method, net carrier density, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)