Standard Test Method for Determining Net Carrier Density in Silicon Wafers by Miller Feedback Profiler Measurements With a Mercury Probe

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1393-92(1997)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.1.1992
Zahl der Seiten: 7
Gewicht ca.: 21 g (0.05 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1393-92(1997) :

Keywords:
Density-electronic applications, Depth profiling, Diodes, Electrical conductors-semiconductors, Mercury probe, Miller feedback profiler, Net carrier density (in semiconductors), Polished silicon wafers/slices, Probe methods, Resistance and resistivity (electrical)-semiconductors, Schottky barrier diode, Silicon-semiconductor applications, Single-crystal silicon, Voltage, net carrier density profiles in epitaxial/polished bulk silicon wafers,