
Standard Test Method for Determination of Oxygen Contribution by Gas Distribution System Components
NORM herausgegeben am 10.6.1999
Bezeichnung normen: ASTM F1396-93(1999)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.6.1999
Zahl der Seiten: 8
Gewicht ca.: 24 g (0.05 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
Flow and flow rate-semiconductor applications, Gas distribution systems, Oxygen, Oxygen contribution, Semiconductor clean rooms, oxygen contribution by gas distribution system components, ICS Number Code 23.040.01 (Pipeline components in general. Pipelines)