NORMSERVIS s.r.o.

ASTM F1398-93(2005)

Standard Test Method for Determination of Total Hydrocarbon Contribution by Gas Distribution System Components

NORM herausgegeben am 1.1.2005

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1398-93(2005)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.1.2005
Zahl der Seiten: 10
Gewicht ca.: 30 g (0.07 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1398-93(2005) :

Keywords:
Argon, Condensable hydrocarbons, Contamination, Flame ionization detectors (FID), Flow and flow rate-semiconductor applications, Gas distribution systems, Hydrocarbons, Instrumental measurement, Mass flow controller (MFC), Methane (CH[inf]4[reset]) equivalent, Minimum detection limit (MDL), Nitrogen, Noncondensable hydrocarbons, Semiconductor clean rooms, Spectrometry-mass, Spool piece, Stainless steel-gas distribution systems, Total hydrocarbons (THC)