ASTM F1438-93(1999)

Standard Test Method for Determination of Surface Roughness by Scanning Tunneling Microscopy for Gas Distribution System Components

NORM herausgegeben am 10.6.1999

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1438-93(1999)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.6.1999
Zahl der Seiten: 10
Gewicht ca.: 30 g (0.07 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1438-93(1999) :

Keywords:
Gas distribution systems, Microscopic examination-electronic materials, Roughness, Scanning tunneling microscopy, Semiconductor clean rooms, Stainless steel-gas distribution systems, Surface analysis-electronic components/devices, Texture, Topography, Tunneling, gas distribution system components-surface roughness, by scanning, tunneling microscopy, test, ICS Number Code 17.040.20 (Properties of surfaces)