ASTM F1451-92(1999)

Standard Test Method for Measuring Sori on Silicon Wafers by Automated Noncontact Scanning (Withdrawn 2003)

NORM herausgegeben am 1.1.1999

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1451-92(1999)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.1.1999
Zahl der Seiten: 12
Gewicht ca.: 36 g (0.08 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1451-92(1999) :

Keywords:
noncontact measurement, semiconductor, shape, silicon, sori, wafers, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)