ASTM F1513-99(2003)

Standard Specification for Pure Aluminum (Unalloyed) Source Material for Electronic Thin Film Applications

NORM herausgegeben am 10.12.1999

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1513-99(2003)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.1999
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1513-99(2003) :

Keywords:
aluminum, coating, evaporation, sputtering, targets, thin films, vacuum coating, ICS Number Code 31.200 (Integrated circuits. Microelectronics)