ASTM F1513-99(2011)

Standard Specification for Pure Aluminum (Unalloyed) Source Material for Electronic Thin Film Applications (Withdrawn 2020)

NORM herausgegeben am 1.6.2011

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1513-99(2011)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.6.2011
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1513-99(2011) :

Keywords:
aluminum, coating, evaporation, sputtering, targets, thin films, vacuum coating, Aluminum electrical conductors (semiconductors), Electronic materials/applications--specifications, Electronic thin-film applications--specifications, Evaporators/evaporation--specifications, Sputtering process/targets--specifications, Targets, Vacuum electronic applications, ICS Number Code 31.200 (Integrated circuits. Microelectronics)