ASTM F1526-95(2000)

Standard Test Method for Measuring Surface Metal Contamination on Silicon Wafers by Total Reflection X-Ray Fluorescence Spectroscopy (Withdrawn 2003)

NORM herausgegeben am 1.1.2000

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1526-95(2000)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.1.2000
Zahl der Seiten: 7
Gewicht ca.: 21 g (0.05 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1526-95(2000) :

Keywords:
contamination, metals, silicone, surface, TXRF, X-ray fluorescence, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)