ASTM F1529-02

Standard Test Method for Sheet Resistance Uniformity Evaluation by In-Line Four-Point Probe with the Dual-Configuration Procedure

NORM herausgegeben am 10.12.2002

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1529-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.2002
Zahl der Seiten: 13
Gewicht ca.: 39 g (0.09 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1529-02 :

Keywords:
epitaxy, four-point probe, ion implant, metallization, polysilicon, sheet resistance, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)