ASTM F1530-02

Standard Test Method for Measuring Flatness, Thickness, and Thickness Variation on Silicon Wafers by Automated Noncontact Scanning (Withdrawn 2003)

NORM herausgegeben am 10.12.2002

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1530-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.2002
Zahl der Seiten: 12
Gewicht ca.: 36 g (0.08 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1530-02 :

Keywords:
flatness, noncontact measurement, semiconductor, silicon, thickness, thickness variation, wafers, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)