Standard Guide for Identification of Structures and Contaminants Seen on Specular Silicon Surfaces
NORM herausgegeben am 10.1.2001
Bezeichnung normen: ASTM F154-00
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.1.2001
Zahl der Seiten: 13
Gewicht ca.: 39 g (0.09 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
contaminant, defects, dislocation, epitaxial, fracture, preferential etch, scratch, shallow pit, silicon, slip, stacking fault, ICS Number Code 17.040.20 (Properties of surfaces)