NORMSERVIS s.r.o.

ASTM F154-02

Standard Guide for Identification of Structures and Contaminants Seen on Specular Silicon Surfaces (Withdrawn 2003)

NORM herausgegeben am 10.1.2001

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F154-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.1.2001
Zahl der Seiten: 13
Gewicht ca.: 39 g (0.09 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F154-02 :

Keywords:
contaminant, defects, dislocation, epitaxial, fracture, preferential etch, scratch, shallow pit, silicon, slip, stacking fault, ICS Number Code 17.040.20 (Properties of surfaces)