Standard Test Method for Trace Metallic Impurities in Electronic Grade Aluminum by High Mass-Resolution Glow-Discharge Mass Spectrometer
NORM herausgegeben am 15.6.2008
Bezeichnung normen: ASTM F1593-08
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 15.6.2008
Zahl der Seiten: 7
Gewicht ca.: 21 g (0.05 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
aluminum, electronics, glow discharge mass spectrometer (GDMS), purity analysis, sputtering target, trace metallic impurities, Aluminum electrical conductors (semiconductors), Glow discharge mass spectrometer (GDMS), High-purity aluminum, Impurities--electronic materials/applications, Mass spectrometry--electronic materials/applications, Purity analysis--electronic materials/applications, Sputtering process/targets, Trace metallic impurities