ASTM F1617-98

Standard Test Method for Measuring Surface Sodium, Aluminum, Potassium, and Iron on Silicon and EPI Substrates by Secondary Ion Mass Spectrometry

NORM herausgegeben am 10.5.1998

Englisch -
Sicheres Online-PDF (74.30 EUR)

Englisch -

Gedruckt (74.30 EUR)

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1617-98
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.5.1998
Zahl der Seiten: 5
Gewicht ca.: 15 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1617-98 :

Keywords:
aluminum, iron, potassium, silicon, SIMS, sodium, surface contamination