ASTM F1617-98(2002)

Standard Test Method for Measuring Surface Sodium, Aluminum, Potassium, and Iron on Silicon and EPI Substrates by Secondary Ion Mass Spectrometry (Withdrawn 2003)

NORM herausgegeben am 10.5.1998

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1617-98(2002)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.5.1998
Zahl der Seiten: 5
Gewicht ca.: 15 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1617-98(2002) :

Keywords:
aluminum, iron, potassium, silicon, SIMS, sodium, surface contamination, ICS Number Code 77.040.30 (Chemical analysis of metals)