ASTM F1618-02

Standard Practice for Determination of Uniformity of Thin Films on Silicon Wafers (Withdrawn 2003)

NORM herausgegeben am 10.5.2002

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1618-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.5.2002
Zahl der Seiten: 7
Gewicht ca.: 21 g (0.05 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1618-02 :

Keywords:
dielectric layers, epitaxial layers, ion implant, metal films, sampling plans, semiconductor, silicon, thin films, uniformity, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)