ASTM F1618-96

Standard Practice for Determination of Uniformity of Thin Films on Silicon Wafers

NORM herausgegeben am 1.1.1996

Englisch -
Elektronische PDF (71.70 EUR)

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1618-96
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.1.1996
Zahl der Seiten: 7
Gewicht ca.: 21 g (0.05 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1618-96 :

Keywords:
dielectric layers, epitaxial layers, ion implant, metal films, sampling plans, semiconductor, silicon, thin films, uniformity, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)