Standard Test Method for Measurement of Interstitial Oxygen Content of Silicon Wafers by Infrared Absorption Spectroscopy with p-Polarized Radiation Incident at the Brewster Angle
NORM herausgegeben am 15.9.1995
Bezeichnung normen: ASTM F1619-95(2000)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 15.9.1995
Zahl der Seiten: 7
Gewicht ca.: 21 g (0.05 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
Brewster angle, infrared absorption, interstitial oxygen, oxygen, silicon