NORMSERVIS s.r.o.

ASTM F1621-96

Standard Practice for Determining the Positional Accuracy Capabilities of a Scanning Surface Inspection System (Withdrawn 2003)

NORM herausgegeben am 1.1.1996

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1621-96
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.1.1996
Zahl der Seiten: 8
Gewicht ca.: 24 g (0.05 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1621-96 :

Keywords:
Localized light scattering, Particle analysis, Particle counting, Positional accuracy, Scanning surface inspection system (SSIS), SSIS (scanning surface inspection system), positional accuracy capabilities-scanning surface inspection system, (SSIS), practice,, Silicon semiconductors-slices/wafers, positional accuracy capabilities,emscanning surface inspection system, (SSIS), practice,,Order Form, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)