Standard Specification for High Purity Titanium Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications
NORM herausgegeben am 15.6.2008
Bezeichnung normen: ASTM F1709-97(2008)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 15.6.2008
Zahl der Seiten: 3
Gewicht ca.: 9 g (0.02 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
coating, sputtering, target, thin film, titanium, Electronic materials/applications--specifications, Electronic thin-film applications--specifications, High-purity titanium, Sputtering process/targets--specifications, Thin film applications, Titanium sputtering targets, Titanium (Ti)/alloys--specifications, ICS Number Code 31.120 (Electronic display devices)