Standard Guide for Selection and Use of Etching Solutions to Delineate Structural Defects in Silicon (Withdrawn 2003)
NORM herausgegeben am 10.12.2002
Bezeichnung normen: ASTM F1809-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.2002
Zahl der Seiten: 9
Gewicht ca.: 27 g (0.06 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
defect density, dislocation, grain boundary, microscopic, polycrystalline, imperfection, preferential etch, silicon, slip, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)