ASTM F1810-97(2002)

Standard Test Method for Counting Preferentially Etched or Decorated Surface Defects in Silicon Wafers (Withdrawn 2003)

NORM herausgegeben am 10.6.1997

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1810-97(2002)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.6.1997
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1810-97(2002) :

Keywords:
defect density, dislocation, grain boundary, microscopic, polycrystalline imperfection, preferential etch, silicon, slip, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)